Для цитирования:

Бортко Д.В., Балахнев К.М., Шилов В.А., Борисюк П.В., Васильев О.С., Лебединский Ю.Ю. ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОКЛАСТЕРОВ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Ядерная физика и инжиниринг. 2025;16(5):740-746. https://doi.org/10.56304/S2079562925010038. EDN: KNHPFG

For citation:

Bortko D.V., Balakhnev K.M., Shilov V.A., Borisyuk P.V., Vasilyev O.S., Lebedinskii Yu.Yu. METAL NANOCLUSTERS DEPOSITION USING MAGNETRON SPUTTERING. Nuclear Physics and Engineering. 2025;16(5):740-746. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562925010038. EDN: KNHPFG