В настоящей работе были получены несколько серий тонких нанокластерных пленок тантала, осажденных на кварцевый кристалл, и были измерены их массы с помощью кварцевого датчика массы. В каждой серии пленки имели характерный размер частиц от 1.5 до 6.5 нм. Результат измерения массы показал, что отношение осажденной массы к налетающему объему кластеров различается для разных размеров. Также в работе была предложена и исследована физическая модель процесса осаждения частиц для объяснения наблюдаемого эффекта. По результатам моделирования оказалось, что фокусировка частиц практически не меняется с размером, а также очень слабо зависит от начальной скорости частиц. Был сделан вывод о том, что основной причиной вышеописанного эффекта может являться различие в коэффициенте прилипания частиц разных размеров. Было предложено проверить это предположение посредством дополнительных экспериментов.
In the present work several series of thin tantalum nanocluster films deposited on a quartz crystal were obtained, and their masses were measured using a quartz mass sensor. In each series the films had a characteristic particle size from 1.5 to 6.5 nm. The result of the mass measurement showed that the ratio of the deposited mass to the incident volume of clusters differs for different sizes. A physical model of the particle deposition process was also proposed and studied to explain the observed effect. According to the simulation results, it turned out that the focusing of particles practically does not change with size, and also is very weakly dependent on the initial velocity of the particles. It was concluded that the main reason for the above-described effect may be the difference in the adhesion coefficient of particles of different sizes. It has been proposed to test this assumption through additional experiments.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.