Для цитирования:

Чударин Ф.И., Чертова А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LAB6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MOSI2–MOB–ZRB2. Ядерная физика и инжиниринг. 2025;16(1):38-42. https://doi.org/10.56304/S2079562924060101. EDN: MOWOBP

For citation:

Chudarin F.I., Chertova A.D., Levashov E.A., Kiryukhantsev-Korneev P.V. USE OF LAB6 SEGMENTS IN MAGNETRON SPUTTERING OF A MOSI2–MOB–ZRB2 HETEROPHASE TARGET. Nuclear Physics and Engineering. 2025;16(1):38-42. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562924060101. EDN: MOWOBP