npeЯдерная физика и инжинирингNuclear Physics and Engineering2079-56292079-5637МИФИ10.56304/S2079562924060101MOWOBPnpe-419Research ArticleПерспективные конструкционные материалыPromising Structural MaterialsИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LAB6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MOSI2–MOB–ZRB2USE OF LAB6 SEGMENTS IN MAGNETRON SPUTTERING OF A MOSI2–MOB–ZRB2 HETEROPHASE TARGETЧударинФ. И.ChudarinF. I.ЧертоваА. Д.ChertovaA. D.alina-sytchenko@yandex.ruЛевашовЕ. А.LevashovE. A.Кирюханцев-КорнеевФ. В.Kiryukhantsev-KorneevPh. V.Университет науки и технологий МИСИСРоссияNational University of Science and Technology MISISRussian Federation2025080120251613842Copyright © Чударин Ф.И., Чертова А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., 20252025Чударин Ф.И., Чертова А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В.Chudarin F.I., Chertova A.D., Levashov E.A., Kiryukhantsev-Korneev P.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://npe.elpub.ru/jour/article/view/419

Отработана технология легирования жаростойких покрытий Mo–Zr–Si–B лантаном за счет использования при магнетронном распылении мишени 95% (90% MoSi2 + 10% MoB) + 5% ZrB2 с сегментами LaB6. Определено изменение ВАХ при использовании дополнительных сегментов. Обнаружено, что применение LaB6 приводит к снижению напряжения зажигания тлеющего разряда. Методом магнетронного распыления получены покрытия Mo–Zr–Si–B и Mo–La–Zr–Si–B c равномерным распределением элементов по толщине, низкой шероховатостью и малодефектной структурой. Использование сегментов LaB6 способствует аморфизации покрытий, а также приводит к повышению их жаростойкости при нагреве на воздухе до 1500°С.

The technology of lanthanum doping of oxidation-resistant Mo–Zr–Si–B coatings has been developed by using a 95%(90%MoSi2 + 10%MoB) + 5%ZrB2 target with LaB6 segments for magnetron sputtering. A change in the current–voltage characteristic has been determined when using additional segments. It has been found that the use of LaB6 leads to a decrease in the breakdown voltage of the glow discharge. Mo–Zr–Si–B and Mo–La–Zr–Si–B coatings with a uniform distribution of elements through the thickness, low roughness, and a low-defect structure have been obtained by magnetron sputtering. The use of LaB6 segments during sputtering leads to amorphization of coatings and increased oxidation resistance under annealing in air at 1500°C.

магнетронное распылениепокрытияMoSi2MoBZrB2LaB6жаростойкостьmagnetron sputteringcoatingsMoSi2MoBZrB2LaB6heat resistanceРабота выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект № 23-49-00141).ReferencesMitra R. // Int. Mater. Rev. 2006. V. 51. P. 13–64.Mitra R. // Int. Mater. Rev. 2006. V. 51. P. 13–64.Schneibel J. H. et al. // Metall. Mater. Trans. A. 2005. V. 36. P. 525–531.Schneibel J. H. et al. // Metall. Mater. Trans. A. 2005. V. 36. P. 525–531.Burk S. et al. // Oxid. Met. 2009. V. 73. P. 163–181.Burk S. et al. // Oxid. Met. 2009. V. 73. P. 163–181.Majumdar S. et al. // Oxid. Met. 2013. V. 80. P. 219–230.Majumdar S. et al. // Oxid. Met. 2013. V. 80. P. 219–230.Bahr A. et al. // J. Alloy Comp. 2023. V. 931. P. 167532.Bahr A. et al. // J. Alloy Comp. 2023. V. 931. P. 167532.Taylor M. et al. // Oxid. Met. 2017. V. 87. P. 705–715.Taylor M. et al. // Oxid. Met. 2017. V. 87. P. 705–715.Perepezko J.H. // Int. J. Refract. Metal Hard Mater. 2018. V. 71. P. 246–254.Perepezko J.H. // Int. J. Refract. Metal Hard Mater. 2018. V. 71. P. 246–254.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.Кирюханцев-Корнеев Ф.В. и др. // Ядерная физика и инжиниринг. 2024. V. 15 (1). P. 9–13 [KiryukhantsevKorneev Ph.V. et al. // Phys. At. Nucl. 2022. V. 86 (9). P. 1993–1997].Кирюханцев-Корнеев Ф.В. и др. // Ядерная физика и инжиниринг. 2024. V. 15 (1). P. 9–13 [KiryukhantsevKorneev Ph.V. et al. // Phys. At. Nucl. 2022. V. 86 (9). P. 1993–1997].Pogozhev Y.S. et al. // Russ. J. Non-Ferrous Metals. 2022. V. 63. P. 649–658.Pogozhev Y.S. et al. // Russ. J. Non-Ferrous Metals. 2022. V. 63. P. 649–658.Kiryukhantsev-Korneev F.V. // Russ. J. Non-Ferrous Met. 2014. V. 55. P. 494–504.Kiryukhantsev-Korneev F.V. // Russ. J. Non-Ferrous Met. 2014. V. 55. P. 494–504.Berger M.-H. et al. // J. Mater. Sci. 2017. V. 52. P. 5537–5543.Berger M.-H. et al. // J. Mater. Sci. 2017. V. 52. P. 5537–5543.Bahr A. et al. // J. Alloys Compd. 2023. V. 931. P. 167532.Bahr A. et al. // J. Alloys Compd. 2023. V. 931. P. 167532.Liu J. et al. // Nanoscale Res. Lett. 2019. V. 14. P. 154.Liu J. et al. // Nanoscale Res. Lett. 2019. V. 14. P. 154.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.