ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LAB6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MOSI2–MOB–ZRB2
https://doi.org/10.56304/S2079562924060101
EDN: MOWOBP
Аннотация
Отработана технология легирования жаростойких покрытий Mo–Zr–Si–B лантаном за счет использования при магнетронном распылении мишени 95% (90% MoSi2 + 10% MoB) + 5% ZrB2 с сегментами LaB6. Определено изменение ВАХ при использовании дополнительных сегментов. Обнаружено, что применение LaB6 приводит к снижению напряжения зажигания тлеющего разряда. Методом магнетронного распыления получены покрытия Mo–Zr–Si–B и Mo–La–Zr–Si–B c равномерным распределением элементов по толщине, низкой шероховатостью и малодефектной структурой. Использование сегментов LaB6 способствует аморфизации покрытий, а также приводит к повышению их жаростойкости при нагреве на воздухе до 1500°С.
При поддержке: Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект № 23-49-00141).
Об авторах
Ф. И. Чударин
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
А. Д. Чертова
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
Е. А. Левашов
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
Ф. В. Кирюханцев-Корнеев
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
Список литературы
1. Mitra R. // Int. Mater. Rev. 2006. V. 51. P. 13–64.
2. Schneibel J. H. et al. // Metall. Mater. Trans. A. 2005. V. 36. P. 525–531.
3. Burk S. et al. // Oxid. Met. 2009. V. 73. P. 163–181.
4. Majumdar S. et al. // Oxid. Met. 2013. V. 80. P. 219–230.
5. Bahr A. et al. // J. Alloy Comp. 2023. V. 931. P. 167532.
6. Taylor M. et al. // Oxid. Met. 2017. V. 87. P. 705–715.
7. Perepezko J.H. // Int. J. Refract. Metal Hard Mater. 2018. V. 71. P. 246–254.
8. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.
9. Кирюханцев-Корнеев Ф.В. и др. // Ядерная физика и инжиниринг. 2024. V. 15 (1). P. 9–13 [KiryukhantsevKorneev Ph.V. et al. // Phys. At. Nucl. 2022. V. 86 (9). P. 1993–1997].
10. Pogozhev Y.S. et al. // Russ. J. Non-Ferrous Metals. 2022. V. 63. P. 649–658.
11. Kiryukhantsev-Korneev F.V. // Russ. J. Non-Ferrous Met. 2014. V. 55. P. 494–504.
12. Berger M.-H. et al. // J. Mater. Sci. 2017. V. 52. P. 5537–5543.
13. Bahr A. et al. // J. Alloys Compd. 2023. V. 931. P. 167532.
14. Liu J. et al. // Nanoscale Res. Lett. 2019. V. 14. P. 154.
Рецензия
Для цитирования:
Чударин Ф.И., Чертова А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СЕГМЕНТОВ LAB6 ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ГЕТЕРОФАЗНОЙ МИШЕНИ MOSI2–MOB–ZRB2. Ядерная физика и инжиниринг. 2025;16(1):38-42. https://doi.org/10.56304/S2079562924060101. EDN: MOWOBP
For citation:
Chudarin F.I., Chertova A.D., Levashov E.A., Kiryukhantsev-Korneev P.V. USE OF LAB6 SEGMENTS IN MAGNETRON SPUTTERING OF A MOSI2–MOB–ZRB2 HETEROPHASE TARGET. Nuclear Physics and Engineering. 2025;16(1):38-42. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562924060101. EDN: MOWOBP
Просмотров:
11
Послать статью по эл. почте 