ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОКЛАСТЕРОВ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
https://doi.org/10.56304/S2079562925010038
EDN: KNHPFG
Аннотация
В настоящей работе были получены несколько серий тонких нанокластерных пленок тантала, осажденных на кварцевый кристалл, и были измерены их массы с помощью кварцевого датчика массы. В каждой серии пленки имели характерный размер частиц от 1.5 до 6.5 нм. Результат измерения массы показал, что отношение осажденной массы к налетающему объему кластеров различается для разных размеров. Также в работе была предложена и исследована физическая модель процесса осаждения частиц для объяснения наблюдаемого эффекта. По результатам моделирования оказалось, что фокусировка частиц практически не меняется с размером, а также очень слабо зависит от начальной скорости частиц. Был сделан вывод о том, что основной причиной вышеописанного эффекта может являться различие в коэффициенте прилипания частиц разных размеров. Было предложено проверить это предположение посредством дополнительных экспериментов.
Ключевые слова
При поддержке: Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда (проект № 21-72-10054).
Об авторах
Д. В. Бортко
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
К. М. Балахнев
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
В. А. Шилов
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
П. В. Борисюк
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
О. С. Васильев
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
Ю. Ю. Лебединский
Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”;
Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)
Россия
Россия
Список литературы
1. Rawat K., Goyal M. // Mater. Today Proc. 2021. V. 42. P. 1633.
2. Choi B. et al. // Nanotechnology. 2007. V. 18 (7). P. 075706.
3. Bhatt S., Kumar M. // J. Phys. Chem. Solids. 2017. V. 106. P. 112.
4. Rawat K., Goyal M. // Mater. Today Proc. 2023. V. 81. P. 1132.
5. Chhabra H., Kumar M. // J. Phys. Chem. Solids. 2019. V. 135. P. 109075.
6. Pabari C. // Mater. Today Proc. 2022. V. 55. P. 98.
7. Maldonado A.S., et al. // J. Mol. Graph. Model. 2023. V. 121. P. 108445.
8. Bhagowati P., et al. // Comput. Mater. Sci. 2023. V. 220. P. 112060.
9. Sharma S., Singh J.P. // Phys. Open. 2024. V. 19. P. 100215.
10. Shoeb M. et al. // J. Phys. Chem. Solids. 2024. V. 184. P. 111707.
11. Borisyuk P.V. et al. // Mater. Lett. 2021. V. 286. P. 129204.
12. Borisyuk P.V. et al. // Chem. Phys. 2016. V. 478. P. 2.
13. Pleskunov P. et al. // Appl. Surf. Sci. 2021. V. 559. P. 149974.
14. Meng C. et al. // Energy. 2022. V. 239. P. 121884.
15. Yalcin R.A. et al. // J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 2024. V. 312. P. 108797.
16. Бортко Д.В. и др. // Ядерн. физ. инжинир. 2023. Т. 14 (2). С. 194. [Bortko D.V. et al. // Phys. At. Nucl. 2022. V. 85 (12). P. 2115].
17. Singh V. et al. // J. Nanopart. Res. 2014. V. 16. P. 1
Рецензия
Для цитирования:
Бортко Д.В., Балахнев К.М., Шилов В.А., Борисюк П.В., Васильев О.С., Лебединский Ю.Ю. ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОКЛАСТЕРОВ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ МЕТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Ядерная физика и инжиниринг. 2025;16(5):740-746. https://doi.org/10.56304/S2079562925010038. EDN: KNHPFG
For citation:
Bortko D.V., Balakhnev K.M., Shilov V.A., Borisyuk P.V., Vasilyev O.S., Lebedinskii Yu.Yu. METAL NANOCLUSTERS DEPOSITION USING MAGNETRON SPUTTERING. Nuclear Physics and Engineering. 2025;16(5):740-746. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562925010038. EDN: KNHPFG
Просмотров:
13
Послать статью по эл. почте 