ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА НА УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ ПОКРЫТИЙ TI–B–C, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ
https://doi.org/10.56304/S2079562924060186
EDN: ASVDBW
Аннотация
Методом магнетронного распыления с использованием гетерофазной мишени TiB2–TiC, при осаждении на наклонную подложку Si (111), получены покрытия Ti–B–C различного состава. Проведены исследования методами оптической эмиссионной спектроскопии, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии. Удельное электросопротивление измерено четырехзондовым методом. Покрытия имели плотную малодефектную структуру на основе гексагональной фазы TiB2 и характеризовались равномерным распределением элементов по толщине. Установлено, что при увеличении содержания титана в покрытиях с 27 до 42 ат. % значение удельного электросопротивления снижалось с 314 до 249 мкОм·см.
При поддержке: Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 24-13-00085).
Об авторах
Ф. В. Кирюханцев-Корнеев
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
А. Д. Чертова
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
В. В. Куц
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
Ю. С. Погожев
Университет науки и технологий МИСИС
Россия
Россия
Список литературы
1. Levashov E.A. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 92 (1–2). P. 34–41.
2. Andreev Yu.Ya. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 90. P. 42–52.
3. Zhong D. et al. // Surf. Coat. Technol. V. 2003. V. 163164. P. 50–56.
4. Onoprienko A.A. et al. // Thin Solid Films. 2021. V. 730. P. 138723.
5. Vyas A. et al. // Surf. Coat. Technol. 2010. V. 204. P. 1528–1534.
6. Qian J.C. et al. // Surf. Coat. Technol. 2015. V. 270. P. 290–298.
7. Holzschuh H. // Int. J. Refract. Hard. Met. 2002. V. 20. P. 143–149.
8. Lauridsen J. et al. // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 258 (24). P. 9907–9912.
9. Levashov E.A. et al. // Int. Mater. Rev. 2017. V. 62. 4. P. 203–239.
10. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.
11. Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. // Prot. Met. Phys. Chem. Surf. 2012. V. 48 (5). P. 585–590.
12. Васильев И. // Вектор высоких технологий. 2020. Т. 2 (47). С. 7−14.
13. https://all-pribors.ru/opisanie/82668-21-vik-ues.
14. Berger M. et al. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 185 (23). P. 240–244.
15. Kumar N. et al. // Surf. Coat. Technol. 2014. V. 258. P. 557–565.
16. Ivanov Yu. F. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2015. V. 652. P. 012015.
17. Sytchenko A.D. et al. // Surf. Interfaces. 2023. V. 37. P. 02654.
18. Zhang C.H. et al. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6141–6153.
19. Aihaiti L. et al. // Coatings. 2021. V. 11. P. 457.
20. Shutou A. et al. // Mater. Letters. 2000. V. 45. P. 143–148.
21. Kiryukhantsev-Korneev P. et al. // Materials. 2023. V. 16. P. 936.
Рецензия
Для цитирования:
Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Чертова А.Д., Куц В.В., Погожев Ю.С. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА НА УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ ПОКРЫТИЙ TI–B–C, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ. Ядерная физика и инжиниринг. 2024;15(6):547-551. https://doi.org/10.56304/S2079562924060186. EDN: ASVDBW
For citation:
Kiryukhantsev-Korneev P.V., Chertova A.D., Kuts V.V., Pogozhev Yu.S. STUDY OF THE INFLUENCE OF ELEMENTAL COMPOSITION ON SPECIFIC ELECTRICAL RESISTANCE OF TI–B–C COATINGS OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING METHOD. Nuclear Physics and Engineering. 2024;15(6):547-551. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562924060186. EDN: ASVDBW
Просмотров:
18
Послать статью по эл. почте 