npeЯдерная физика и инжинирингNuclear Physics and Engineering2079-56292079-5637МИФИ10.56304/S2079562924060186ASVDBWnpe-403Research ArticleПерспективные конструкционные материалыPromising Structural MaterialsИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА НА УДЕЛЬНОЕ ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ ПОКРЫТИЙ TI–B–C, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯSTUDY OF THE INFLUENCE OF ELEMENTAL COMPOSITION ON SPECIFIC ELECTRICAL RESISTANCE OF TI–B–C COATINGS OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING METHODКирюханцев-КорнеевФ. В.Kiryukhantsev-KorneevPh. V.kiruhancev-korneev@yandex.ruЧертоваА. Д.ChertovaA. D.kiruhancev-korneev@yandex.ruКуцВ. В.KutsV. V.kiruhancev-korneev@yandex.ruПогожевЮ. С.PogozhevYu. S.kiruhancev-korneev@yandex.ruУниверситет науки и технологий МИСИСРоссияNational University of Science and Technology MISISRussian Federation202425122024156547551Copyright © Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Чертова А.Д., Куц В.В., Погожев Ю.С., 20242024Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Чертова А.Д., Куц В.В., Погожев Ю.С.Kiryukhantsev-Korneev P.V., Chertova A.D., Kuts V.V., Pogozhev Y.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://npe.elpub.ru/jour/article/view/403

Методом магнетронного распыления с использованием гетерофазной мишени TiB2–TiC, при осаждении на наклонную подложку Si (111), получены покрытия Ti–B–C различного состава. Проведены исследования методами оптической эмиссионной спектроскопии, рентгенофазового анализа, растровой электронной микроскопии. Удельное электросопротивление измерено четырехзондовым методом. Покрытия имели плотную малодефектную структуру на основе гексагональной фазы TiB2 и характеризовались равномерным распределением элементов по толщине. Установлено, что при увеличении содержания титана в покрытиях с 27 до 42 ат. % значение удельного электросопротивления снижалось с 314 до 249 мкОм·см.

Ti–B–C coatings of various compositions have been obtained by magnetron sputtering using a TiB2–TiC heterophase target and have been deposited on a Si(111) substrate. The studies have been carried out using glow discharge optical emission spectroscopy, X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The electrical resistivity has been measured using the four-probe method. The coatings had a dense, low-defect structure based on the hexagonal TiB2 phase and have been characterized by a uniform distribution of elements throughout the thickness. It has been established that the electrical resistivity decreases from 314 to 249 μΩ cm with an increase in the titanium content in coatings from 27 to 42 at %.

магнетронное распылениепокрытияTiB2TiCTi–B–Cудельное электросопротивлениеmagnetron sputteringcoatingsTiB2TiCTi–B–Celectrical resistivityРабота выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 24-13-00085).ReferencesLevashov E.A. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 92 (1–2). P. 34–41.Levashov E.A. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 92 (1–2). P. 34–41.Andreev Yu.Ya. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 90. P. 42–52.Andreev Yu.Ya. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 90. P. 42–52.Zhong D. et al. // Surf. Coat. Technol. V. 2003. V. 163164. P. 50–56.Zhong D. et al. // Surf. Coat. Technol. V. 2003. V. 163164. P. 50–56.Onoprienko A.A. et al. // Thin Solid Films. 2021. V. 730. P. 138723.Onoprienko A.A. et al. // Thin Solid Films. 2021. V. 730. P. 138723.Vyas A. et al. // Surf. Coat. Technol. 2010. V. 204. P. 1528–1534.Vyas A. et al. // Surf. Coat. Technol. 2010. V. 204. P. 1528–1534.Qian J.C. et al. // Surf. Coat. Technol. 2015. V. 270. P. 290–298.Qian J.C. et al. // Surf. Coat. Technol. 2015. V. 270. P. 290–298.Holzschuh H. // Int. J. Refract. Hard. Met. 2002. V. 20. P. 143–149.Holzschuh H. // Int. J. Refract. Hard. Met. 2002. V. 20. P. 143–149.Lauridsen J. et al. // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 258 (24). P. 9907–9912.Lauridsen J. et al. // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 258 (24). P. 9907–9912.Levashov E.A. et al. // Int. Mater. Rev. 2017. V. 62. 4. P. 203–239.Levashov E.A. et al. // Int. Mater. Rev. 2017. V. 62. 4. P. 203–239.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 2022. V. 442. P. 128141.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. // Prot. Met. Phys. Chem. Surf. 2012. V. 48 (5). P. 585–590.Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. // Prot. Met. Phys. Chem. Surf. 2012. V. 48 (5). P. 585–590.Васильев И. // Вектор высоких технологий. 2020. Т. 2 (47). С. 7−14.Васильев И. // Вектор высоких технологий. 2020. Т. 2 (47). С. 7−14.https://all-pribors.ru/opisanie/82668-21-vik-ues.https://all-pribors.ru/opisanie/82668-21-vik-ues.Berger M. et al. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 185 (23). P. 240–244.Berger M. et al. // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 185 (23). P. 240–244.Kumar N. et al. // Surf. Coat. Technol. 2014. V. 258. P. 557–565.Kumar N. et al. // Surf. Coat. Technol. 2014. V. 258. P. 557–565.Ivanov Yu. F. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2015. V. 652. P. 012015.Ivanov Yu. F. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2015. V. 652. P. 012015.Sytchenko A.D. et al. // Surf. Interfaces. 2023. V. 37. P. 02654.Sytchenko A.D. et al. // Surf. Interfaces. 2023. V. 37. P. 02654.Zhang C.H. et al. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6141–6153.Zhang C.H. et al. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 6141–6153.Aihaiti L. et al. // Coatings. 2021. V. 11. P. 457.Aihaiti L. et al. // Coatings. 2021. V. 11. P. 457.Shutou A. et al. // Mater. Letters. 2000. V. 45. P. 143–148.Shutou A. et al. // Mater. Letters. 2000. V. 45. P. 143–148.Kiryukhantsev-Korneev P. et al. // Materials. 2023. V. 16. P. 936.Kiryukhantsev-Korneev P. et al. // Materials. 2023. V. 16. P. 936.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.