Для цитирования:

Гребенщикова М.М., Миронов М.М. СИНТЕЗ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР Hf–Ti–N ИЗ ПЛАЗМЕННОЙ ФАЗЫ. Ядерная физика и инжиниринг. 2024;15(3):305-310. https://doi.org/10.56304/S2079562923030181. EDN: BJUSYG

For citation:

Grebenshchikova M.M., Mironov M.M. Synthesis of Multilayer Nanostructures Hf–Ti–N from the Plasma Phase. Nuclear Physics and Engineering. 2024;15(3):305-310. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562923030181. EDN: BJUSYG