Влияние типа и конфигурации установки атомно-зондовой томографии с лазерным испарением на точность восстановления данных

Атомно-зондовая томография – это инструмент для детального анализа химического состава наноструктуры перспективных конструкционных материалов. Использование различных устройств атомно-зондовой томографии (АЗТ) требует сертификации этих установок перед проведением исследований. В данной работе предлагается метод сравнения установок АЗТ для оценки влияния общей конфигурации системы на точность получаемых данных. Представлено сравнение полученных данных для алюминиевого сплава Al–3.3Cu–2.5Mn–0.5Zr и конструкционной стали 16Х12МВСФБР, полученных на установке ПАЗЛ-3D и на модернизированной установке АТЛАЗ на основе ECOTAP. Сравнение результатов подтверждает возможность проведения исследований одного и того же материала на аналогичных установках без существенного искажения данных без значительного искажения данных при их анализе и интерпретации.

1. Martin T., London A., Jenkins B., Hopkin S., Douglas J., Styman P., Moody M. // Microsc. Microanal. 2017. V. 23 (2). P. 227–237.

2. Рогожкин С.В., Алеев А.А., Лукьянчук А.А., Шутов А.С., Разницын О.А., Кириллов С.Е. // Приборы и техника эксперимента. 2017. № 3. С. 129–134.

3. Schlesiger R., Oberdorfer C., Wuerz R., Greiwe G., Stender P., Artmeier M., Pelka P., Spaleck F., Schmitz G. // Rev. Sci. Instrum. 2010. V. 81 (4). P. 043703.

4. Gault B., Vurpillot F., Vella A., Gilbert M., Menand A., Blavette D., Deconihout B. // Rev. Sci. Instrum. 2006. V. 77 (4). P. 043705.

5. Hono K., Ohkubo T., Chen Y.M., Kodzuka M., Oh-ishi K., Sepehri-Amin H., Lia F., Kinno T., Tomiya S., Kanitani Y. // Ultramicroscopy. 2011. V. 111 (6). P. 576–583.

6. Silaeva E.P., Shcheblanov N.S., Itina T.E., Vella A., Houard J., Sévelin-Radiguet N., Vurpillot F., Deconihout B. // Appl. Phys. A. 2013. V. 110 (3). P. 703–707.

7. Суворов А.Л., Рогожкин С.В., Залужный А.Г., Алеев А.А., Бобков В.Ф., Зайцев С.В., Карпов А.В., Козодаев М.А., Логинов Б.А., Макеев О.Н. // Вопросы атомной науки и техники. Cер. Материаловедение и новые материалы. 2006. Вып. 1 (66). С. 3–13.

8. Рогожкин С.В., Никитин А.А., Хомич А.А., Искандаров Н.А., Хорошилов В.В., Богачев А.А., Лукьянчук А.А., Разницын О.А., Шутов А.С., Федин П.А., Куйбида Р.П., Кулевой Т.В., Васильев А.Л., Пресняков М.Ю., Кравчук К.С., Усеинов А.С. // Ядерная физика и инжиниринг. 2018. Т. 9 (3). P. 245–258.

9. Raznitsyn O.A., Lukyanchuk A.A., Shutov A.S., Rogozhkin S.V., Aleev A.A. // J. Anal. Chem. 2017. V. 72 (14). P. 1404–1410.

10. Разницын О.А., Лукьянчук А.А., Шутов А.С., Рогожкин С.В., Алеев А.А. // Ядерная физика и инжиниринг. 2017. Т. 8. № 2. С. 138–140.

11. Лукьянчук А.А., Рогожкин С.В., Разницын О.А., Шутов А.С., Алеев А.А. // Ядерная физика и инжиниринг. 2017. Т. 8. № 2. С. 150–152.

12. Шутов А.С., Лукьянчук А.А., Рогожкин С.В., Разницын О.А., Искандаров Н.А., Алеев А.А. // Ядерная физика и инжиниринг. 2017. Т. 8. № 2. С. 141–144.

13. АлеевА.А.,РогожкинС.В.,ЛукьянчукА.А.,ШутовА.С., Разницын О.А., Никитин А.А., Искандаров Н.А., Корчуганова О.А., Кириллов С.Е. Программный комплекс по восстановлению, обработке и анализу томографических атомно-зондовых данных “КВАНТМ-3D” V1.0.0. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2018661876, рег. 20.09.2018.

14. Porollo S.I., Dvoriashin A.M., Konobeev Yu.V., Garner F.A. // J. Nucl. Mater. 2004. V. 329–333. P. 314–318.

15. Belov N.A., Akopyan T.K., Korotkova N.O., Shurkin P.K., Timofeev V.N., Raznitsyn O.A., Sviridova T.A. // J. Alloys Compd. 2022. V. 891. P. 161948. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.161948

16. Belov N.A., Akopyan T.K., Korotkova N.O., Timofeev V.N., Shurkin P.K. // Mater. Lett. 2021. V. 300. P. 130199.

17. Danoix F., Grancher G., Bostel A., Blavette D. // Ultramicroscopy. 2007. V. 107 (9). P. 734–738.

18. Danoix F., Grancher G., Bostel A., Blavette D. // Ultramicroscopy. 2007. V. 107 (9). P. 739–743.

19. Tang F., Gault B., Ringer S.P., Cairney J.M. // Ultramicroscopy. 2010. V. 110 (7). P. 836–843.

20. Geuser F.D., Gault B., Bostel A., Vurpillot F. // Surf. Sci. 2007. V. 601 (2). P. 536–543.

21. Bas P., Bostel A., Deconihout B., Blavette D. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 87–88. P. 298–304.

22. Hellman O., Vandenbroucke J., Rusing J., Isheim D., Seidman D. // Microsc. Microanal. 2000. V. 6 (5). P. 437–444.