ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ ОТ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ
https://doi.org/10.56304/S2079562923030259
EDN: UVBCFI
Аннотация
Предложена новая методика обработки рентгеновских фотоэлектронных спектров, которая основана на модели мишени со стохастическим поверхностным слоем. Смоделированы рентгеновские фотоэлектронные спектры от многослойных многокомпонентных металлических мишеней с неоднородным поверхностным слоем для различных углов зондирования с учетом эффектов затенения поверхности. По усовершенствованной методике анализа поверхности методом РФЭС с угловым разрешением получен послойный фазовый профиль металлических образцов. Результаты подтверждены методом АСМ.
Ключевые слова
наноструктурированная поверхность,
фотоэлектронная эмиссия,
послойный фазовый анализ,
тонкие пленки,
РФЭС,
АСМ
При поддержке: Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках Государственного задания № FSWF-2023-001.
Об авторах
Д. С. Лукьянцев
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
А. В. Лубенченко
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
Д. А. Иванов
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
В. П. Будаев
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
И. Н. Павлов
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
О. Н. Павлов
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
О. И. Лубенченко
Национальный исследовательский университет “МЭИ”
Россия
Россия
Список литературы
1. Будаев В.П. и др. // ВАНТ. Сер.: Термоядерный синтез. 2017. Т. 40 (3). С. 23.
2. Budaev V.P. et al. // Fusion Eng. Des. 2021. V. 167. P. 112335.
3. Lubenchenko A.V. et al. // Proc. IV Conf. REEPE. IEEE. 2020. P. 1.
4. Trifonov A.S. et al. // J. Appl. Phys. 2015. V. 117 (12). P. 125704.
5. Varsányi G. et al. // Period. Polytech. Chem. 1987. V. 31 (1–2). P. 3.
6. Martín-Concepción A.I. et al. // Surf. Interface Anal. 2004. V. 36 (8). P. 788.
7. Zemek J. // Anal. Sci. 2010. V. 26 (2). P. 177.
8. Лукьянцев Д.С. и др. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2022. Т. 22 (6). С. 1104.
9. Fadley C.S. et al. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 1974. V. 4 (2). P. 93.
10. Shard A.G. et al. // Surf. Interface Anal. 2009. V. 41 (7). P. 541.
11. Lubenchenko A.V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 427. P. 711.
12. Tougaard S. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 2010. V. 178. P. 128.
13. Lubenchenko A.V. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2019. V. 1370. P. 012049.
14. Yeh J.J. et al. // At. Data Nucl. Data Tables. 1985. V. 32 (1). P. 1.
15. Powell C.J., Jablonski A. // NIST Standard Reference Database 82. 2011.
16. Moré J.J. // Numer. Anal. 1978. V. 630. P. 105.
Рецензия
Для цитирования:
Лукьянцев Д.С., Лубенченко А.В., Иванов Д.А., Будаев В.П., Павлов И.Н., Павлов О.Н., Лубенченко О.И. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ ОТ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ. Ядерная физика и инжиниринг. 2024;15(4):400-408. https://doi.org/10.56304/S2079562923030259. EDN: UVBCFI
For citation:
Lukiantsev D.S., Lubenchenko A.V., Ivanov D.A., Budayev V.P., Pavlov I.N., Pavlov O.N., Lubenchenko O.I. Numerical Simulation of Photoelectric Emission From a Nano-Structured Surface. Nuclear Physics and Engineering. 2024;15(4):400-408. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562923030259. EDN: UVBCFI
Просмотров:
9
Послать статью по эл. почте 