Реконструкция трехмерных распределений атомов в методе атомно-зондовой томографии с учетом плотности материала
https://doi.org/10.56304/S2079562922010250
Аннотация
Данные, собранные с помощью атомно-зондового томографа, позволяют с высокой точностью восстанавливать трехмерные атомные карты химических элементов. В связи с постоянным совершенствованием установок атомно-зондовой томографии требуются новые процедуры восстановления трехмерных распределений атомов. В этой работе предлагается улучшенный подход к реконструкции данных томографического атомного зонда, который использует динамические параметры и калибровку на основе плотности материала.
При поддержке: Исследование методом атомно-зондовой томографии проводилось в Центре коллективного пользования КАМИКС (http://kamiks.itep.ru/) Института теоретической и экспериментальной физики НИЦ “Курчатовский институт”
Об авторах
А. А. Лукьянчук
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”; Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
123182; 115409; Москва
А. А. Алеев
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Россия
Россия
123182; Москва
А. С. Шутов
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”; Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
123182; 115409; Москва
О. А. Разницын
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”; Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
123182; 115409; Москва
С. Е. Кириллов
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Россия
Россия
123182; Москва
С. В. Рогожкин
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”; Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
Россия
Россия
123182; 115409; Москва
Список литературы
1. Giddings A.D., Ramvall P., Vasen T., Afzalian A., Hwang R. // ASC Appl. Nano Mater. 2019. V. 2 (3). P. 1253–1258.
2. Rogozhkin S.V., Nikitin A.A., Khomich A.A., Lukyanchuk A.A., Raznitsyn O.A., Shutov A.S., Fedin P.A., Kulevoy T.V., Vasiliev A.L., Presniakov M.Yu., Möeslang A., Lindau R., P. Vladimirov // Nucl. Fusion. 2019. V. 59. P. 086018. doi: 10.1088/1741-4326/ab1e18
3. Lefebvre-Ulrikson W., Vurpillot F., Sauvage X. Atom Probe Tomography Put Theory into Practice. 2016. Amsterdam: Elsevier. P. 183–249. doi: 10.1016/B978-0-12-804647-0.00007-3
4. Bas P., Bostel A., Deconihout B., Blavette D. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 87. P. 298–304. doi: 10.1016/0169-4332(94)00561-3
5. Gault B., Moody M.P., Cairney J.M., Ringer S. Atom Probe Microscopy. 2012. London: Springer. doi: 10.1007/978-1-4614-3436-8
6. Gault B., Haley D., de Geuser F., Larson D.J., Marquis E.A., Geiser B.P. // Ultramicroscopy. 2011. V. 111 (6). P. 448–457. doi: 10.1016/j.ultramic.2010.11.016
7. Vurpillot F., Gruber M., Da Costa G., Martin I., Renaud L., Bostel A. // Ultramicroscopy. 2011. V. 111 (8). P. 1286–1294. doi: 10.1016/j.ultramic.2011.04.001
8. Larson D., Geiser B., Prosa T., Ulfig R., Kelly T. // Microsc. Microanal. 2011. V. 17 (S2). P. 740–741. doi: 10.1017/S1431927611004570
9. Gipson G.S. // J. Appl. Phys. 1980. V. 51. P. 3884. doi: 10.1063/1.328134.
10. Geiser B.P., Larson D.J., Oltman E., Gerstl S., Reinhard D., Kelly T.F., Prosa T.J. // Microsc. Microanal. 2009. V. 15 (S2). P. 292–293. doi: 10.1017/S1431927609098249
11. Renaud L. // Microsc. Microanal. 2003. V. 9 (S02). P. 566–567. doi: 10.1017/S1431927603442839
12. Renaud L., Monsallut P., Benard P., Saliot P., Costa G.D., Vurpillot F., Deconihout B. // Microsc. Microanal. 2006. V. 12. P. 1726–1727. doi: 10.1017/S1431927606063410
13. Miller M.K., Forbes R.G. Atom Probe Tomography: The Local Electrode Atom Probe. 2014. New York: Springer. doi: 10.1007/978-1-4899-7430-3
14. Hatzoglou C., Da Costa G., Vurpillot F. // Ultramicroscopy. 2019. V. 197. P. 72–82. doi: 10.1016/j.ultramic.2018.11.010
15. Gault B., Loi S.T., Araullo-Peters V.J., Stephenson L.T., Moody M.P., Shrestha S.L., Marceau R.K.W., Yao L., Cairney J.M., Ringer S.P. // Ultramicroscopy. 2011. V. 111. P. 1619–1624. doi: 10.1016/j.ultramic.2011.08.005
16. Loi S.T., Gault B., Ringer S.P., Larson D.J., Geiser B.P. // Ultramicroscopy. 2013. V. 132. P. 107–113. doi: 10.1016/j.ultramic.2012.12.012
17. Asi A. // Rev. Sci. Instrum. 2002. V. 73. P. 780. doi: 10.1063/1.1430867
18. Vurpillot F., Gaillard A., Da Costa G., Deconihout B. // Ultramicroscopy. 2013. V. 132. P. 152–157. doi: 10.1016/j.ultramic.2012.12.007
19. Рогожкин С.В., Алеев А.А., Лукьянчук А.А., Шутов А.С., Разницын О.А., Кириллов С.Е. // Приборы и техника эксперимента. 2017. № 3. С. 129–134. doi: 10.7868/S0032816217020227
20. Raznitsyn O.A., Lukyanchuk A.A., Shutov A.S., et al. // J. Anal. Chem. 2017. V. 72. No. 14. P. 1404. doi: 10.1134/S1061934817140118
21. Shutov A.S., Lukyanchuk A.A., Rogozhkin S.V., Raznitsyn O.A., Nikitin A.A., Aleev A.A., Kirillov S.E. // Phys. At. Nucl. 2019. V. 82. P. 1292–1301. doi: 10.1134/S1063778819090096
22. Software Certificate No. RU2018661876. http://www1.fips.ru/.
Рецензия
Для цитирования:
Лукьянчук А.А., Алеев А.А., Шутов А.С., Разницын О.А., Кириллов С.Е., Рогожкин С.В. Реконструкция трехмерных распределений атомов в методе атомно-зондовой томографии с учетом плотности материала. Ядерная физика и инжиниринг. 2022;13(3):272-279. https://doi.org/10.56304/S2079562922010250
For citation:
Lukyanchuk А.А., Aleev А.А., Shutov А.S., Raznitsyn О.А., Kirillov С.Е., Rogozhkin S.V. Atom Probe Tomography Data Reconstruction with the Correction on Material Density. Nuclear Physics and Engineering. 2022;13(3):272-279. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562922010250
Просмотров:
38
Послать статью по эл. почте 