Формирование перспективных пленочных электродных систем с использованием различных методов вакуумного напыления
https://doi.org/10.56304/S2079562922030113
Аннотация
Представлен автоматизированный вакуумно-технологический комплекс ЛОТОС-2I-VE и текущее состояние в области создания пленочных электродных систем. Рассмотрены особенности имеющегося технологического оборудования для создания перспективных многофункциональных пленочных покрытий.
Об авторах
С. Г. ДавыдовРоссия
Москва, 127055
A. Н. Долгов
Россия
Москва, 127055
А. А. Козлов
Россия
Москва, 127055
В. А. Максимов
Россия
Москва, 127055
В. О. Ревазов
Россия
Москва, 127055
Р. Х. Якубов
Россия
Москва, 127055
Список литературы
1. Давыдов С.Г., Максимов В.А., Ревазов В.О., Якубов Р.Х. // Труды 15-й Междунар. конф. “Пленки и покрытия 2021”. 2021. Санкт-Петербург: ООО “РПК “Амиго Принт”. С. 128−132.
2. Кулаева М.В. Автореферат дисс. к.т.н. 1998. Владикавказ: Северо-Кавказский гос. технол. унив.
3. Davydov S.G., Dolgov A.N., Kozlov A.A., Maksimov V.A., Yakubov R.Kh. // J. Phys.: Conf. Ser. 2021. V. 2059 (1). P. 012006.
Рецензия
Для цитирования:
Давыдов С.Г., Долгов A.Н., Козлов А.А., Максимов В.А., Ревазов В.О., Якубов Р.Х. Формирование перспективных пленочных электродных систем с использованием различных методов вакуумного напыления. Ядерная физика и инжиниринг. 2022;13(6):545-549. https://doi.org/10.56304/S2079562922030113
For citation:
Davydov S.G., Dolgov A.N., Kozlov A.A., Maksimov V.А., Revazov V.O., Yakubov R.Kh. Creation of Promising Thin Film Electrode Using Vacuum Deposition Methods. Nuclear Physics and Engineering. 2022;13(6):545-549. https://doi.org/10.56304/S2079562922030113
Послать статью по эл. почте 