Формирование слоев из самосвязанного SIC с помощью лазерного излучения
https://doi.org/10.56304/S2079562922050281
Аннотация
Исследована возможность получения изделий из самосвязанного карбида кремния с помощью лазерного излучения при отсутствии какой-либо дополнительной пропитки углеродсодержащими материалами после силицирования. Установлено, что благодаря управлению тепловым нагревом в каждой точке воздействия возможно последовательно за один цикл провести все необходимые этапы стандартной процедуры реакционного спекания и изменить традиционный подход формирования подобных изделий, использующий высокотемпературные нагревательные печи. Качество спекания определялось после вытравливания непрореагировавшего кремния несколькими лабораторными методами. Основное внимание уделялось исследованию мостиков между частицами из вторичного SiC как внутри слоев, так и на их границах, поскольку именно они определяют прочностные показатели создаваемого материала и позволяют соединять спекающиеся области между собой. После отработки всех необходимых этапов спекания у однослойных образцов была осуществлена попытка последовательного наращивания нескольких слоев, а также имитация процесса сварки двух заранее спеченных образцов.
Об авторах
С. А. Лысенко
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН
Россия
Россия
Москва, 119991
Н. Н. Юрышев
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН
Россия
Россия
Москва, 119991
Н. П. Вагин
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН
Россия
Россия
Москва, 119991
Список литературы
1. Schlichting J., Riley F.L. Concise Encyclopedia of Advanced Ceramic Materials. 1991. Oxford: Pergamon.
2. Шелованова Г.Н. Современные проблемы микро- и наноэлектроники: учебное пособие. 2017. Красноярск: Сибирский федеральный университет.
3. Григорьев О.Н. // Порошковая металлургия. 2012. № 11. С. 100−116.
4. Гаршин А.П. и др. Керамика для машиностроения. 2003. Москва: Научтехлитиздат.
5. Frolova M.G. et al. // Inorg. Mater.: Appl. Res. 2018. V. 9. P. 675−678. https://doi.org/10.1134/S2075113318040123
6. Perevislov S.N., Bespalov I.A. // Tech. Phys. Lett. 2017. V. 43. P. 720−722.
7. Shikunov S.L., Kurlov V.N. // Tech. Phys. 2017. V. 62. P. 1869−1876.
8. Zhitnyuk S.V. et al. // Glass Ceram. 2013. V. 70 (7−8). P. 247−254. https://doi.org/10.1007/s10717-013-9554-1
9. Avrov D.D., Lebedev A.O., Tairov Yu.M. // Semiconductors. 2016. V. 50 (4). P. 494−501.
10. Shinozaki S.S., Carduner K.R. // Proc. Conf. Advanced Materials'93. 1994. P. 857−861.
11. Lebedev A.A. et al. // Materials. 2021. V. 14 (17). P. 4976. https://doi.org/10.3390/ma14174976
12. Сорокин О.Ю. // Авиационные материалы и технологии. 2015. № 1 (34). С. 65−70. https://doi.org/10.18577/2071-9140-2015-0-1-65-70
13. Boecker W.D. // Ceramic Forum Intern. 1997. V. 74 (5). P. 244−251.
14. Ивенин С.В. // Инженерные технологии и системы. 2015. Т. 25 (4). С. 37−50. https://doi.org/10.15507/0236-2910.025.201504.037
15. Гнесин Г.Г. Карбидокремниевые материалы. 1977. Москва: Металлургия. .
16. Snead L.L., Katoh Y., Nozawa T. // Compreh. Nucl. Mater. V. 4. 2012. P. 215−240. https://doi.org/10.1016/B978-0-08-056033-5.00093-8
17. Samoilov V.M., Porodzinskiy I.A. // Inorg. Mater. Appl. Res. 2014. V. 5 (5). P. 540−544. https://doi.org/10.1134/S2075113314050189
18. Maystrenko A.L., Kulich V.G., Tkach V.N. // J. Superhard Mater. 2009. V. 31 (1). P. 12−23. https://doi.org/10.3103/S1063457609010031
19. Verma A.R., Verma Q.R. Polymorphism and Polytypism in Crystals. 1996. New York: Wiley.
Рецензия
Для цитирования:
Лысенко С.А., Юрышев Н.Н., Вагин Н.П. Формирование слоев из самосвязанного SIC с помощью лазерного излучения. Ядерная физика и инжиниринг. 2023;14(2):173-180. https://doi.org/10.56304/S2079562922050281
For citation:
Lysenko S.A., Yuryshev N.N., Vagin N.P. Formation of Layers from Self-Bonded SiC Using Laser Radiation. Nuclear Physics and Engineering. 2023;14(2):173-180. (In Russ.) https://doi.org/10.56304/S2079562922050281
Просмотров:
28
Послать статью по эл. почте 