<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">npe</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Ядерная физика и инжиниринг</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Nuclear Physics and Engineering</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">2079-5629</issn><issn pub-type="epub">2079-5637</issn><publisher><publisher-name>МИФИ</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id pub-id-type="doi">10.56304/S2079562923010190</article-id><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">npe-85</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>Взаимодействие плазмы, пучков частиц и излучения с веществом</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>Interaction of Plasma, Particle Beams and Radiation with Matter</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Исследование поверхности зеркал AL/MgF2 после экспозиции высокояркостным ВУФ излучением</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Study of the Surface of Al/MgF2 Mirrors after Exposure to High-Intensity VUV Radiation</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Пасынкова</surname><given-names>Д. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Pasynkova</surname><given-names>D. S.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Москва, 105005 </p></bio><bio xml:lang="en"><p>Moscow, 105005</p></bio><email xlink:type="simple">DaryaPasynkova1503@yandex.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Новиков</surname><given-names>П. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Novikov</surname><given-names>P. A.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Подольск, Московская обл., 142103</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Podolsk, Moscow oblast, 142103</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Новиков</surname><given-names>Д. О.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Novikov</surname><given-names>D. O.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Москва, 105005 </p></bio><bio xml:lang="en"><p>Moscow, 105005</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Телех</surname><given-names>В. Д.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Telekh</surname><given-names>V. D.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Москва, 105005 </p></bio><bio xml:lang="en"><p>Moscow, 105005</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Чесноков</surname><given-names>Д. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Chesnokov</surname><given-names>D. A.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Подольск, Московская обл., 142103</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Podolsk, Moscow oblast, 142103</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Жупанов</surname><given-names>В. Г.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Zhupanov</surname><given-names>V. G.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Подольск, Московская обл., 142103</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Podolsk, Moscow oblast, 142103</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Скрябин</surname><given-names>А. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Skriabin</surname><given-names>A. S.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Москва, 105005 </p></bio><bio xml:lang="en"><p>Moscow, 105005</p></bio><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Bauman Moscow State Technical University</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-2"><aff xml:lang="ru"><institution>АО “Научно-исследовательский институт научно-производственное объединение "ЛУЧ”</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>LUCH Research and Production Association, Research and Development Institute</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2023</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>31</day><month>12</month><year>2023</year></pub-date><volume>14</volume><issue>6</issue><fpage>605</fpage><lpage>611</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Пасынкова Д.С., Новиков П.А., Новиков Д.О., Телех В.Д., Чесноков Д.А., Жупанов В.Г., Скрябин А.С., 2023</copyright-statement><copyright-year>2023</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Пасынкова Д.С., Новиков П.А., Новиков Д.О., Телех В.Д., Чесноков Д.А., Жупанов В.Г., Скрябин А.С.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Pasynkova D.S., Novikov P.A., Novikov D.O., Telekh V.D., Chesnokov D.A., Zhupanov V.G., Skriabin A.S.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://npe.elpub.ru/jour/article/view/85">https://npe.elpub.ru/jour/article/view/85</self-uri><abstract><p>В работе было проведено исследование деградации поверхности зеркального покрытия Al/MgF2 под воздействием ультрафиолетового излучения от высокояркостного широкополосного плазменного источника эрозионного типа. Для управления спектральным составом излучения разряд осуществлялся в среде различных газов – неон, аргон, воздух. Проводилось исследование поверхности образцов на микронанопрофилометре с измерением шероховатости и глубины трещин, возникших после облучения. Было выявлено, что при попадании на образец квантов с энергией, не превышающей 6 эВ, образец претерпел незначительные потери в шероховатости, трещин не наблюдалось. При попадании на образец квантов с энергией ≈6–15 эВ наблюдалось испарение слоя MgF2 вблизи источника излучения, глубина трещин доходит до 55 нм. При попадании на образец квантов с энергией до 21 эВ помимо полного испарения покрытия наблюдалась сильная деградация подложки с возникновением трещин глубиной до 200 нм.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>The degradation of the surface of the Al/MgF2 mirror coating under influence of UV radiation is investigated. The source of VUV radiation is erosion-type magneto-plasma compressor. Discharge is carried out in different gases (neon, argon, air) to control radiation spectrum. Roughness, 2D and 3D profiles, depth of cracks on the surface of the samples were studied using micronanoprofilometer. If the energy of quanta reaching the sample is less than 6 eV, slight increase of roughness and no cracks are observed on the surface of the sample. Energy of quanta is 6–15 eV – MgF2 layer partly-completely evaporates, roughness increases gradually, depth of the cracks reaches 55 nm. Energy of quanta is less than 21 eV – coating completely evaporates, degradation of the substrate with the cracks (depth – less than 200 nm) is observed.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>деградация оптических покрытий</kwd><kwd>магнитоплазменный компрессор</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="en"><kwd>degradation of optical coatings</kwd><kwd>magneto-plasma compressor</kwd></kwd-group><funding-group><funding-statement xml:lang="ru">Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ и Госкорпорации “Росатом” в рамках научного проекта № 20-21-00087 и проведено на уникальной научной установке (УНУ) “Пучок-М” МГТУ им. Н.Э. Баумана.</funding-statement></funding-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кузин С.В., Богачев С.А., Ерхова Н.Ф. и др. // ЖТФ. 2021. Т. 91 (10). С. 1441–1447.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кузин С.В., Богачев С.А., Ерхова Н.Ф. и др. // ЖТФ. 2021. Т. 91 (10). С. 1441–1447.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Yamamoto M., Yanagihara M., Arai A., et al // Res. Instrum. Sci. Meas. 1990. V. 41. P. 21–24.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Yamamoto M., Yanagihara M., Arai A., et al // Res. Instrum. Sci. Meas. 1990. V. 41. P. 21–24.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Сигов А.С., Минаева О.А., Аневский С.И. и др // Росс. технол. журн. 2021. Т. 9 (1). С. 38–47.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Сигов А.С., Минаева О.А., Аневский С.И. и др // Росс. технол. журн. 2021. Т. 9 (1). С. 38–47.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Жупанов В.Г., Федосеев В.Н., Голышко Е.А. и др // Вестник НПО им. С.А. Лавочкина. 2014. № 5. С. 92–96.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Жупанов В.Г., Федосеев В.Н., Голышко Е.А. и др // Вестник НПО им. С.А. Лавочкина. 2014. № 5. С. 92–96.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Черкашина Н.И. // Тр. межд. конф. “Инновационные материалы и технологии (ХХ научные чтения)”. 2010. С. 246–249.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Черкашина Н.И. // Тр. межд. конф. “Инновационные материалы и технологии (ХХ научные чтения)”. 2010. С. 246–249.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Черкашина Н.И., Павленко В.И., Едаменко А.С., Матюхин П.В. // Современные проблемы науки и образования. 2012. № 6. С. 130.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Черкашина Н.И., Павленко В.И., Едаменко А.С., Матюхин П.В. // Современные проблемы науки и образования. 2012. № 6. С. 130.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Павленко В.И., Черкашина Н.И., Манаев В.А., Сидельников Р.В. // Вест. Белгород. гос. технол. унив. им. В.Г. Шухова. 2018. № 11. С. 83–90.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Павленко В.И., Черкашина Н.И., Манаев В.А., Сидельников Р.В. // Вест. Белгород. гос. технол. унив. им. В.Г. Шухова. 2018. № 11. С. 83–90.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Гасанов С.К., Ястребинский Р.Н., Павленко В.И. // Усп. совр. естествозн. 2015. № 10. С. 11–14.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Гасанов С.К., Ястребинский Р.Н., Павленко В.И. // Усп. совр. естествозн. 2015. № 10. С. 11–14.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kozlov N.P., Protasov Yu.S. // Phys. Lett. A. 1978. V. 67. P. 191–193.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kozlov N.P., Protasov Yu.S. // Phys. Lett. A. 1978. V. 67. P. 191–193.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kuzenov V.V., Ryzhkov S.V. // Symmetry. 2021. V. 13 (10). P. 927.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kuzenov V.V., Ryzhkov S.V. // Symmetry. 2021. V. 13 (10). P. 927.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Зворыкин В.Д., Камруков А.С., Клементов А.Д. и др // Квантовая электроника. 1977. Т. 4 (2). С. 290–301.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Зворыкин В.Д., Камруков А.С., Клементов А.Д. и др // Квантовая электроника. 1977. Т. 4 (2). С. 290–301.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Морозов А.И., Ковров П.Е., Виноградова А.К. // Письма в ЖЭТФ. 1968. Т. 7 (8). С. 257–260.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Морозов А.И., Ковров П.Е., Виноградова А.К. // Письма в ЖЭТФ. 1968. Т. 7 (8). С. 257–260.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kuzenov V.V., Ryzhkov S.V., Varaksin A.Yu. // Appl. Sci. 2022. V. 12 (7). P. 3610.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kuzenov V.V., Ryzhkov S.V., Varaksin A.Yu. // Appl. Sci. 2022. V. 12 (7). P. 3610.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Зворыкин В.Д., Кашников Г.Н., Клементов А.Д. и др // Квантовая электроника. 1975. Т. 2 (11). С. 2416–2422.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Зворыкин В.Д., Кашников Г.Н., Клементов А.Д. и др // Квантовая электроника. 1975. Т. 2 (11). С. 2416–2422.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Pavlov A.V., Shchepanyuk T.S., Skriabin A.S., Telekh V.D. // Polymers. 2022. V. 14. P. 3940.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Pavlov A.V., Shchepanyuk T.S., Skriabin A.S., Telekh V.D. // Polymers. 2022. V. 14. P. 3940.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit16"><label>16</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kamrukov A.S., Kozlov N.P., Protasov Yu.S., Shashkovskii S.G. // High Temp. 1989. V. 27. P. 141–155.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kamrukov A.S., Kozlov N.P., Protasov Yu.S., Shashkovskii S.G. // High Temp. 1989. V. 27. P. 141–155.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit17"><label>17</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Соболев В.В. Курс теоретической астрофизики. 1985. Москва: Наука.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Соболев В.В. Курс теоретической астрофизики. 1985. Москва: Наука.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit18"><label>18</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Рыжков С.В., Чирков А.Ю. Системы альтернативной термоядерной энергетики. 2017. Москва: Физматлит.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Рыжков С.В., Чирков А.Ю. Системы альтернативной термоядерной энергетики. 2017. Москва: Физматлит.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit19"><label>19</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Протасов Ю.С., Протасов Ю.Ю., Телех В.Д., Щепанюк Т.С. // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Плазменная аэродинамика. 2014. Москва: Янус-К. Т. IX-4. С. 383–436.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Протасов Ю.С., Протасов Ю.Ю., Телех В.Д., Щепанюк Т.С. // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Плазменная аэродинамика. 2014. Москва: Янус-К. Т. IX-4. С. 383–436.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
