npeЯдерная физика и инжинирингNuclear Physics and Engineering2079-56292079-5637МИФИ10.56304/S2079562923030259UVBCFInpe-399Research ArticleМоделирование наноструктурModeling of NanostructuresЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ ОТ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИNumerical Simulation of Photoelectric Emission From a Nano-Structured SurfaceЛукьянцевД. С.LukiantsevD. S.LukyantsevDS@mpei.ruЛубенченкоА. В.LubenchenkoA. V.LukyantsevDS@mpei.ruИвановД. А.IvanovD. A.LukyantsevDS@mpei.ruБудаевВ. П.BudayevV. P.LukyantsevDS@mpei.ruПавловИ. Н.PavlovI. N.LukyantsevDS@mpei.ruПавловО. Н.PavlovO. N.LukyantsevDS@mpei.ruЛубенченкоО. И.LubenchenkoO. I.LukyantsevDS@mpei.ruНациональный исследовательский университет “МЭИ”РоссияNational Research University MPEIRussian Federation202423122024154400408Copyright © Лукьянцев Д.С., Лубенченко А.В., Иванов Д.А., Будаев В.П., Павлов И.Н., Павлов О.Н., Лубенченко О.И., 20242024Лукьянцев Д.С., Лубенченко А.В., Иванов Д.А., Будаев В.П., Павлов И.Н., Павлов О.Н., Лубенченко О.И.Lukiantsev D.S., Lubenchenko A.V., Ivanov D.A., Budayev V.P., Pavlov I.N., Pavlov O.N., Lubenchenko O.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://npe.elpub.ru/jour/article/view/399

Предложена новая методика обработки рентгеновских фотоэлектронных спектров, которая основана на модели мишени со стохастическим поверхностным слоем. Смоделированы рентгеновские фотоэлектронные спектры от многослойных многокомпонентных металлических мишеней с неоднородным поверхностным слоем для различных углов зондирования с учетом эффектов затенения поверхности. По усовершенствованной методике анализа поверхности методом РФЭС с угловым разрешением получен послойный фазовый профиль металлических образцов. Результаты подтверждены методом АСМ.

A new method of X-ray photoelectron spectra processing based on a target model with a stochastic surface layer is suggested. On the base of this model, X-ray photoelectron spectra of multilayer multicomponent metallic targets with an inhomogeneous surface layer are obtained for various probing angles considering surface shading effects. A layer-by-layer phase profile of metallic samples is obtained using the advanced method of surface analysis based on angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy. The results are approved be atomic force microscopy.

наноструктурированная поверхностьфотоэлектронная эмиссияпослойный фазовый анализтонкие пленкиРФЭСАСМnano-structured surfacephotoelectric emissionphase profilingthin filmsXPSAFMРабота выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках Государственного задания № FSWF-2023-001.ReferencesБудаев В.П. и др. // ВАНТ. Сер.: Термоядерный синтез. 2017. Т. 40 (3). С. 23.Будаев В.П. и др. // ВАНТ. Сер.: Термоядерный синтез. 2017. Т. 40 (3). С. 23.Budaev V.P. et al. // Fusion Eng. Des. 2021. V. 167. P. 112335.Budaev V.P. et al. // Fusion Eng. Des. 2021. V. 167. P. 112335.Lubenchenko A.V. et al. // Proc. IV Conf. REEPE. IEEE. 2020. P. 1.Lubenchenko A.V. et al. // Proc. IV Conf. REEPE. IEEE. 2020. P. 1.Trifonov A.S. et al. // J. Appl. Phys. 2015. V. 117 (12). P. 125704.Trifonov A.S. et al. // J. Appl. Phys. 2015. V. 117 (12). P. 125704.Varsányi G. et al. // Period. Polytech. Chem. 1987. V. 31 (1–2). P. 3.Varsányi G. et al. // Period. Polytech. Chem. 1987. V. 31 (1–2). P. 3.Martín-Concepción A.I. et al. // Surf. Interface Anal. 2004. V. 36 (8). P. 788.Martín-Concepción A.I. et al. // Surf. Interface Anal. 2004. V. 36 (8). P. 788.Zemek J. // Anal. Sci. 2010. V. 26 (2). P. 177.Zemek J. // Anal. Sci. 2010. V. 26 (2). P. 177.Лукьянцев Д.С. и др. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2022. Т. 22 (6). С. 1104.Лукьянцев Д.С. и др. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2022. Т. 22 (6). С. 1104.Fadley C.S. et al. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 1974. V. 4 (2). P. 93.Fadley C.S. et al. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 1974. V. 4 (2). P. 93.Shard A.G. et al. // Surf. Interface Anal. 2009. V. 41 (7). P. 541.Shard A.G. et al. // Surf. Interface Anal. 2009. V. 41 (7). P. 541.Lubenchenko A.V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 427. P. 711.Lubenchenko A.V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 427. P. 711.Tougaard S. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 2010. V. 178. P. 128.Tougaard S. // J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 2010. V. 178. P. 128.Lubenchenko A.V. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2019. V. 1370. P. 012049.Lubenchenko A.V. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2019. V. 1370. P. 012049.Yeh J.J. et al. // At. Data Nucl. Data Tables. 1985. V. 32 (1). P. 1.Yeh J.J. et al. // At. Data Nucl. Data Tables. 1985. V. 32 (1). P. 1.Powell C.J., Jablonski A. // NIST Standard Reference Database 82. 2011.Powell C.J., Jablonski A. // NIST Standard Reference Database 82. 2011.Moré J.J. // Numer. Anal. 1978. V. 630. P. 105.Moré J.J. // Numer. Anal. 1978. V. 630. P. 105.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.